《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > MEMS|傳感技術 > 業界動態 > 住友精密研發出用于自動駕駛的MEMS薄膜加工技術

住友精密研發出用于自動駕駛的MEMS薄膜加工技術

2021-08-30
來源:CINNO Research

  CINNO Research產業資訊,住友精密日前研發出一種薄膜加工技術,可用于自動駕駛汽車等使用的傳感器(感知器),可制造傳感器性能最大為本公司現有技術2倍的MEMS(壓電式微機電系統)。這種薄膜加工技術在MEMS基板的硅片上生成單晶PZT(鋯鈦酸鋅)薄膜,從而可將壓電薄膜的FOM(性能指數)提高到行業最高的40-50范圍。

  如果能夠大量搭載高性能MEMS,將會極大改善自動駕駛的各種傳感能力,使其操控的安全性和功能得到進一步提升。這種通過材料和制造技術的創新來提高性能和降低成本的方式,可能成為未來創造市場增長的關鍵。

  住友精密此次研發的薄膜加工技術,其產能按照硅片換算為每年幾百片。從10月開始住友精密將為客戶供應樣品,并在2022年4月開始接受訂單。長期計劃是將產能提高至每年幾千片。

  壓電式MEMS利用超小型反射鏡進行激光照射,搭載有檢測車輛和障礙物之間距離的感知元件等。薄膜對MEMS的性能有很大影響。此類型的MEMS中使用的PZT薄膜通常為多晶薄膜,但此次住友精密研發出了提高FOM的單晶薄膜技術。通常PZT薄膜的FOM只有20-30左右。住友精密經過3年的內部研發,成功地生成了過去難以制造的具有優化晶體結構、無缺陷的單晶結構膜。

  根據對薄膜的不同需求,住友精密研發了將傳感器性能提高至2倍和1.5倍的2種產品。執行器(機械運動)的性能與傳感器的性能相反,因此分別降低至0.6倍和0.8倍的最低范圍內。住友精密的該項技術對應6英寸和8英寸硅片。雖然成膜的成本將增加至2倍,但將會通過提高生產效率來實現降低成本的目標。這項薄膜加工技術將被用于自動駕駛汽車傳感器、飛行機器人(無人機)、自動導引車(AGV)、高清復印機、醫療用超聲波診斷設備和高安全性認證系統等方面。

  住友精密針對市場有望實現MEMS需求增長而持續開拓市場,計劃在2024年4月期的一年內,將薄膜加工相關業務的銷售額提高到2021年的2.6倍,即13億日元(約人民幣7600萬元)。根據矢野研究所的數據顯示, ADAS(自動駕駛用傳感器)的全球市場銷售額規模預計將在2019年的水平增長1.8倍,在2025年達到24808億日元(約人民幣1459.38億元)。




mmexport1621241704608.jpg


本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306116;郵箱:aet@chinaaet.com。
香蕉视频下载入口_香蕉视频下载安卓版污免费直播